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手动上、下片
设备配置2C2D、4C、4D设备产能180WPH衬底材质Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等线宽0
设备配置1C1D、2C、2D衬底材质Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等线宽0
手动上、下片
整体叠层布局,结构紧凑,节省机台占地空间;匀胶、显影每层2个单元,烘烤热处理单元采用4列布置方式,与工艺单元相对称,每列放置单元数可达5个,且各单元有独立排风系...
Mini型全自动匀胶显影一体设备,采用我司自主研发设计的机器人与胶泵,并在客户端成熟应用
高产能机台结构紧凑,占地面积小,布局采用的分体式结构,高速机器人在工艺单元间传递,同时工艺单元中采用共用摆臂结构,使单元结构尺寸大幅减小,单元配置更加灵活;另外...
设备采用高效机械手,重复定位精度高、产能高,自动完成匀胶、显影工艺;配备烘烤及冷却单元,工艺参数数字化检测控制,自由编制、修改、储存、调用工艺程序;故障、生产工...
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